熒光光譜儀又稱熒光分光光度計，是一種檢測物質的定性、定量分析儀器。其原理是根據熒光效應：激光照射原子，原子中電子吸收能量躍遷到激發單線態或第二激發單線態，但這些激發態是不穩定的，當電子激發單線態恢復到基態時，能量會以光的形式釋放，產生熒光，一般持續發光時間短于10^-8秒（同時產生的磷光持續時間大于10^-8秒）。

　　熒光光譜儀可以對多種材料進行元素分析，包括固體、液體和松散粉末，為滿足過程控制和研發應用的苛刻要求而設計。其設計和功能可以執行從鈹到镅和其他元素范圍從不到百萬分之一到百分之一的準確度分析，是一款理想的材料分析儀器。

　　熒光光譜儀的主要組成部分包括：樣品室、光源、光柵、檢測器和數據處理軟件等。樣品室是測量熒光強度的關鍵部分，通過光線和樣品之間的相互作用來產生熒光；光源通常采用氙燈或氬燈，它可以產生高強度的許多波長光線；光柵用于分離光源產生的波長光線，允許使用者選擇需要研究的部分光線；檢測器可以檢測通過樣品后的熒光強度，并將其轉換成數字信號發送給數據處理軟件，用于進一步分析和顯示。

　　其工作原理如下：

　　熒光光譜儀首先通過光源照射樣品，樣品能量被激發后，其分子能量狀態發送了變化，這種狀態變化會引起熒光發射，從而產生熒光光譜。熒光光譜儀通過收集發射的熒光光子來獲取信號，進一步進行光譜掃描。當熒光光子經過檢測器時，檢測器發回一個電信號，信號的強度與熒光光子的強度成正比。熒光光譜儀根據記錄到的光子數據并采用計算機算法來制作光譜圖。