由于產生誤差的原因不同,能量色散型X熒光光譜儀各種誤差具有不同的性質,顯示出不同的基本特征。通常將誤差分為系統誤差、隨機誤差與過失誤差三類。
(1)系統誤差
由于在
能量色散型X熒光光譜儀測定過程中某些固定的原因,造成測定結果經常性偏高或偏低,出現比較恒定的正誤差或負誤差,這種誤差稱為系統誤差,或者稱為固定誤差、可測誤差,它是測定結果中的主要誤差來源。系統誤差的特點是,這種誤差在測定過程中按一定規律重復出現,并具有一定的方向性,表現為測定結果經常性偏高或偏低,增加測定次數并不能減少系統誤差。正因為系統誤差往往由確定的原因所造成,故它可以被認識,也可以被修正,而使系統誤差得以消除或減少。
(2)隨機誤差
隨機誤差又稱偶然誤差或不可測誤差,它是在測定過程中一些難以控制的偶然因素所引起的。所謂偶然因素,是指它對測定結果的影響變化不定,誤差時正時負,時大時小,這種誤差無法確定,也無法校正。隨機誤差在測定操作中總是不可避免的,但隨著測定次數的增加,就可發現測定數據分布呈現下述規律性。
對稱性。值相等而符號相反的誤差出現的次數大致相等,也就是說,測定值以它們的算術平均值為中心呈對稱分布。
有界性。在一定條件的有限測定值中,其誤差值不會超過一定界限。
單峰性。值小的誤差出現的次數多,大誤差出現的次數少,特大誤差出現的次數更少,也就是說,隨機誤差以測定值的算術平均值為中心相對集中地分布。
抵償性。在一定條件下,對同一個量的測定,隨機誤差的算術平均值隨測定次數的增加而趨近于零。也就是說,隨機誤差平均值的極限值為零。
對稱性、單峰性、有界性及抵償性,也就是隨機誤差所具有的基本特性。
(3)過失誤差
過失誤差也稱粗大誤差或疏忽誤差。這是在能量色散型X熒光光譜儀測定過程中,由于人為的差錯,使用不合格的計量器具或在不符合標準規定的條件下所產生的誤差。過失誤差無一定的規律性,含有過失誤差的測定結果,反映其數據呈現異常偏大或偏小。只要嚴格地執行有關標準,在測定中仔細小心地操作,過失誤差是不難避免的。