利用x射線熒光光譜儀進行定量分析的時候，大致可以分為3個方法。

　　1、是制作測量線的方法（經(jīng)驗系數(shù)法）。這個方法是測定幾點實際的已知濃度樣品，尋求想測定元素的X熒光光譜儀X射線強度和濃度之間的關(guān)系，以其結(jié)果為基礎(chǔ)測定未知樣品的X熒光光譜儀X射線，從而得到濃度值。

　　2、是理論演算的基礎(chǔ)參數(shù)法（FP法）。這個方法在了解樣品的構(gòu)成和元素種類前提，利用計算的各個X熒光光譜儀X射線強度的理論值，推測測定得到未知樣品各個元素的X熒光光譜儀X射線強度的組成一致。

　　3、參數(shù)計算出樣品中每個元素的一次和二次特征X射線熒光強度的。基于此再計算Lachance綜合校正系數(shù)，然后使用這些理論α系數(shù)去校正元素間的吸收增應(yīng)。它與經(jīng)驗系數(shù)法不同，這些校正系數(shù)是從“理論”上的，而非建立在“經(jīng)驗”上。因而它也不需要那么多的標(biāo)樣，只要少數(shù)標(biāo)樣來校準(zhǔn)儀器因子。

　　x射線熒光光譜儀的優(yōu)點：

　　1、分析速度高。測定用的時間與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

　　2、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。大多數(shù)分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定。

　　3、非破壞分析。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。

　　4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析。

　　5、分析精密度高。

　　6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。