X射線熒光光譜儀主要由以下幾部分組成：

 

（1）X射線系統（X射線光管、高壓變壓器、管壓管流控制單元）；

（2）水循環冷卻系統（內外部冷卻水單元、溫度、電導率控制監測單元）；

（3）真空系統（真空泵、樣品室）；

（4）檢測系統（光譜室、分光晶體、衰減器、狹縫、測角儀、晶體交換器等）；

（5）檢測記錄系統（流<充>氣正比計數器和閃爍計數器、脈沖高度分析器等）；

（6）數據處理系統。

X射線熒光光譜儀基本原理：

 

X熒光光譜儀（XRF）由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品。受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。 

用X射線照射試樣時，試樣可以被激發出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強度，以進行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。