1、PPM
　　毫克/每千克，即百萬分之一
　　2、老化
　　當X射線已關閉很長時間，再次開啟X射線時，要將X射線管電壓和電流逐步緩慢升至值。緩慢升高管電壓和管電流的過程就稱為老化。X射線關閉的時間越長，管電流和管電流的升高速度就應越慢。自動老化功能可根據X射線關閉時間的長短，自動按一定的速度升高管電壓和管電流。
　　3、激發條件
　　由X射線管產生初級X射線并使其激發樣品的光學條件稱為激發條件。激發條件包括靶材、管電壓、管電流和初級束濾光片。
　　4、定量分析
　　確定已知組分在樣品中的含量的分析稱為定量分析。定量分析有采用經驗校正的標準樣品比較法和FP定量法。通常，先用定性分析檢查樣品中有哪些組分，然后再進行定量分析
　　5、分辨率
　　能量分辨率是探測器的性能指標，在特定的測試條件下用微分曲線的半高寬與峰位能量差值表示。半高寬是指峰值強度一半處的能量寬度。
　　6、X射線強度
　　在X射線分析中，X射線強度表述為單位時間內進入探測器窗口的X射線光子數。通常，每秒的計數用kcps（千計數/秒）為單位表示。在單位制（SI）中，X射線強度表述為：X射線穿過1 kg空氣時，空氣與X射線相互作用產生的電子在空氣中引起的總的離子電荷數。其單位是C/kg（庫侖/千克）。